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        首頁 > 技術(shù)文章 > 新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺(tái)
        
    
        
      
        新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺(tái)
        
    
        
	
        更新時(shí)間： 2024-08-06 
        
    
        P66系列壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，內(nèi)部采用直驅(qū)或放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的1~3維運(yùn)動(dòng)的壓電位移平臺(tái)，可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適用于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長(zhǎng)度修正，顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
        新品推薦|P66.X2K-B1Z一維高精度真空壓電納米定位臺(tái)
        1~3維P66系列壓電納米定位臺(tái)

        P66.X2K-B1為P66系列新推出的一款一維真空壓電納米定位臺(tái)。該產(chǎn)品采用直驅(qū)結(jié)構(gòu)，X向最大位移2.4μm，開環(huán)分辨率可達(dá)0.5nm，承載可達(dá)2kg，諧振頻率可達(dá)12kHz，它尺寸為70mm×85mm×20.5mm，體積非常小巧，定制航空連接器，可在真空環(huán)境下使用，芯明天可定制真空工作環(huán)境使用產(chǎn)品達(dá)2E-11mbar。P66.X2K-B1產(chǎn)品外觀如下圖所示。
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        產(chǎn)品特點(diǎn)


        一維X向運(yùn)動(dòng)
        精度可達(dá)0.5nm
        承載可達(dá)2kg
        諧振頻率可達(dá)12kHz
        毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
        定制采用航空連接器
        真空版本，可選配閉環(huán)版本

        產(chǎn)品應(yīng)用


        干涉
        顯微/掃描
        光學(xué)測(cè)量
        微加工/精密控制
        計(jì)量

        技術(shù)參數(shù)


         
                    
                    
        型號(hào)
        		            
        P66.X2K-B1Z
        		        
                
                    
        運(yùn)動(dòng)自由度
        		            
        X
        		        
                
                    
        驅(qū)動(dòng)控制
        		            
        1路驅(qū)動(dòng)
        		        
                
                    
        標(biāo)稱行程范圍（0~120V）
        		            
        1.9μm
        		        
                
                    
        行程范圍（0~150V）
        		            
        2.4μm
        		        
                
                    
        開環(huán)分辨率
        		            
        0.5nm
        		        
                
                    
        空載諧振頻率
        		            
        12kHz
        		        
                
                    
        帶載諧振頻率
        		            
        10kHz@20g
        		        
                
                    
        階躍時(shí)間
        		            
        2ms
        		        
                
                    
        靜電容量
        		            
        0.58μF
        		        
                
                    
        工作溫度范圍
        		            
        -20~80℃
        		        
                
                    
        承載能力
        		            
        2kg
        		        
                
                    
        材質(zhì)
        		            
        不銹鋼、鋁合金
        		        
                
                    
        重量
        		            
        310g
        		        
            
         

        配套控制器


        E53.C1K非常適用于驅(qū)動(dòng)P66.X2K-B1Z壓電納米定位臺(tái)。它是一款小體積單通道壓電控制器，24VDC/1.5A供電，采用模擬或數(shù)字控制，通信接口為USB/RS-422/RS-232，帶寬10kHz，尺寸為148mm×27.5mm×80mm，體積小巧，易集成。
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